中小MEMS企业创新面临产品中试困境,制约了我国MEMS产业发展。日前中国—新加坡苏州工业园区举办了一场具有特别意义的MEMS传感器产品交付会,苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线的首个产品正式交付客户。这也意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线正式运营,该中试线的投用将为我国中小MEMS企业的发展带来福音。

据了解,苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线,由苏州纳米科技发展有限公司建设,超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共16000平方米,其中超净工艺场地5200平方米,该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目,也得到了工信部“工业转型升级服务平台项目”支持。

6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线的推动者、苏州纳米科技发展有限公司负责人、苏州市集成电路行业协会秘书长张希军一直积极推动中试线建设,他对MEMS中试线的产业意义有更深层次的思考,认为中试线不仅是中小企业的创新平台,更弥补了中国MEMS产业创新链的空白。

“我国中小MEMS企业发展面临很多困难,其中一个关键的难题是产品的工程化与中试生产,规模代工厂门槛较高,高校院所的实验室工程化能力较弱或开放度不够,产品的工程化中试已成为影响中小MEMS企业规模化成长的瓶颈。”张希军告诉记者。

智恒(厦门)微电子有限公司总经理郑政也表达了类似的看法,“MEMS领域的Fab(代工厂)和大的封装厂费用门槛较高,小公司往往很难承受”。郑政是2012年国家千人计划专家,长期从事基于MEMS和集成电路的智能传感器的研究、开发及产业化工作。

张希军的“瓶颈说”形象地揭示了我国MEMS产业领域中小企业的生存现状。由于我国MEMS产业的创新链不完善,缺乏工业级中试线的支撑,科研团队在研发做出样品后又无法直接进入代工厂,难以实现渐进式的规模化成长。

据了解,苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线采用市场化、全开放的运作模式,主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务,目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品,产品样品测试结果良好,基本具备了MEMS芯片的开发加工能力。

“我们的中试线,与科研机构的概念验证、单步工艺能力不同,主要开展中试和小批量生产业务,前端与产品样品衔接,后端与规模代工厂衔接,是一个完全工业级别的中试线,不仅可以帮助中小企业创新,还可以促进他们规模化发展。”苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线运营总监游家杰告诉记者。

当前,我国正处在MEMS产业格局形成、产业化加速发展的时期,产业资源集中分布在研发起步早、研发资源丰富、掌握技术前沿的环渤海湾(北京、天津、石家庄)地区,产品企业集聚、产业链健全、商业化环境优良的长三角(上海、苏州、无锡)地区,市场驱动灵活、集成制造能力强的珠三角(深圳)地区。

从全国范围看,江苏MEMS产业资源集聚度最高,正成为国内MEMS创新与产业化最具吸引力的区域,MEMS产业资源主要集聚在南京、无锡、苏州三个城市。苏州在MEMS产业布局多年,目前形成了MEMS传感器的芯片设计、研发、中试、封装测试的全覆盖的产业特色,涌现了晶方半导体、敏芯、明皜等一批业界知名公司。

“发展MEMS产业,既要看清楚我们的优势,又要找准自身的不足。6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线只是苏州MEMS产业发展的新起点,要构筑MEMS产业生态圈,我们还需要全国的产业资源,来突破资源限制、人才限制、技术限制。”张希军长期担任苏州市集成电路行业协会秘书长,和半导体企业打了多年交道,对产业发展的核心要素有比较深地了解。

据了解,苏州纳米科技发展有限公司与东南大学MEMS教育部重点实验室主任、国家“863”计划MEMS重大专项总体组专家黄庆安教授合作,开展对全国MEMS资源的梳理,希望全面了解国内MEMS产业发展现状。黄庆安教授认为,智慧终端、物联网、智慧医疗等产业的发展,带动了MEMS传感器的市场需求,未来将成为MEMS应用的重要领域。